普拉勒CVD、MOCVD專用氫氣發(fā)生器是普拉勒（南京）儀器科技有限公司供應(yīng)的產(chǎn)品，該公司是實(shí)驗(yàn)室前處理設(shè)備的主要供應(yīng)商。這款發(fā)生器專為化學(xué)氣相沉積（CVD）和金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積（MOCVD）技術(shù)設(shè)計(jì)。
 

基本信息 

1.工作原理：主要基于電解水技術(shù)。在電解池中，通過(guò)施加電壓使水分子分解為氫氣和氧氣。氫氣隨后經(jīng)過(guò)一系列的處理步驟，如氣液分離、干燥和純化，最終獲得高純度的氫氣。這些處理步驟有助于去除氫氣中的雜質(zhì)和水分，確保氫氣的純度和穩(wěn)定性。 

2.技術(shù)參數(shù)：氫氣純度可達(dá)99.999% - 99.99999%，氫氣流量為1L - 17L/min，輸出壓力0 - 80psi（約0.5MPa），壓力穩(wěn)定性0.001MPa，供電電源220V±10%、50HZ，消耗功率8kw（HYDROGEN - 17L），純水需求2MΩ&1L/h，氫氣容積20L（HYDROGEN - 17L），環(huán)境溫度1 - 40℃，相對(duì)濕度85%，海拔高度2000米，外形尺寸80x90x100（WxDxHcm）（HYDROGEN - 17L），凈重約200kg（HYDROGEN - 17L）。 

產(chǎn)品特點(diǎn) 

1. 高純度輸出：能夠穩(wěn)定產(chǎn)生高達(dá)99.999%至99.99999%純度的氫氣，確保在薄膜生長(zhǎng)過(guò)程中不受雜質(zhì)的影響，從而提高最終產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。采用英國(guó)Peculiar的離子膜技術(shù)和分子篩耐用干燥劑，以及先進(jìn)的氫/水分離技術(shù)和除濕處理，有效分離并去除氫氣中的水分，保證輸出氫氣的純凈度。 

2. 精確的流量和壓力控制：配備高精度的流量和壓力調(diào)節(jié)系統(tǒng)，因?yàn)樵贑VD和MOCVD過(guò)程中，氫氣的流量和壓力直接影響薄膜的生長(zhǎng)速率和均勻性。通過(guò)精確控制這些參數(shù)，可以優(yōu)化薄膜的性能，滿足不同的應(yīng)用需求。還集成微電腦控制系統(tǒng)，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)和調(diào)整壓力與流量，保持氫氣輸出的穩(wěn)定性和可靠性。 

3. 多重安全性能：考慮到氫氣的易燃性，這類氫氣發(fā)生器設(shè)計(jì)了多重安全措施，包括泄漏監(jiān)測(cè)、自動(dòng)關(guān)閉系統(tǒng)以及防爆構(gòu)造，確保實(shí)驗(yàn)室和生產(chǎn)環(huán)境的安全。 

4. 創(chuàng)新技術(shù)應(yīng)用：通常采用先進(jìn)技術(shù)，如固態(tài)聚合物電解質(zhì)（SPE）技術(shù)，以確保產(chǎn)生高純度的氫氣，同時(shí)具備穩(wěn)定的壓力輸出，這對(duì)于半導(dǎo)體生產(chǎn)中的清洗、退火、賦活處理以及硅晶片的取向和外延生長(zhǎng)調(diào)控等關(guān)鍵過(guò)程至關(guān)重要。 

5. 環(huán)保與安全設(shè)計(jì)：采用無(wú)堿液電解技術(shù)，直接電解純水，減少環(huán)境污染；同時(shí)，所有材料選擇均符合高標(biāo)準(zhǔn)環(huán)保要求，確保操作過(guò)程的安全。 

6. 自動(dòng)化與易用性：操作過(guò)程簡(jiǎn)便，同時(shí)配備了直觀的用戶界面和自動(dòng)化控制系統(tǒng)，大大提升了實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn)的效率。 

應(yīng)用領(lǐng)域 

1. CVD和MOCVD技術(shù)：作為還原劑和載氣，在CVD和MOCVD過(guò)程中起著至關(guān)重要的作用。通過(guò)提供高純度的氫氣，確保薄膜生長(zhǎng)的純度和質(zhì)量。 

2. 半導(dǎo)體制造：在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用，為化學(xué)反應(yīng)提供所需的還原劑或保護(hù)氣氛?？捎糜谇逑垂杵砻?、去除氧化物和氮化物等雜質(zhì)，提高薄膜的純度和質(zhì)量；還可用于半導(dǎo)體生產(chǎn)中的清洗、退火、賦活處理以及硅晶片的取向和外延生長(zhǎng)調(diào)控等關(guān)鍵過(guò)程。 

3. 其他科研領(lǐng)域：在生物學(xué)實(shí)驗(yàn)、物理學(xué)研究以及氫能源開發(fā)和燃料電池的研究中也發(fā)揮著重要的作用。 

使用與維護(hù) 

使用前 

1）檢查設(shè)備：仔細(xì)檢查發(fā)生器外觀是否完好，電源連接是否正常，并核對(duì)裝箱單上的品名數(shù)量是否齊全。同時(shí)，確保儀器O?口暢通，加液口蓋子取下以便注液。 

2）環(huán)境準(zhǔn)備：選擇一個(gè)具有良好通風(fēng)性、遠(yuǎn)離熱源、無(wú)震動(dòng)、無(wú)陽(yáng)光直射、無(wú)粉塵和腐蝕性氣體的場(chǎng)所放置。環(huán)境溫度應(yīng)控制在0℃ - 40℃，環(huán)境相對(duì)濕度應(yīng)不超過(guò)85%。 

3）正確接線與確認(rèn)參數(shù)：確保設(shè)備接線正確，電源輸入電壓、電流及氫氣純度、流量等參數(shù)符合要求。 

使用中 

1）禁止私自調(diào)整：嚴(yán)禁在設(shè)備運(yùn)行中隨意調(diào)整安全保護(hù)參數(shù)，如電流和氫氣流量，并且不應(yīng)在未經(jīng)授權(quán)的情況下進(jìn)行機(jī)內(nèi)部件的更換或調(diào)整。 

2）良好通風(fēng)與禁止危險(xiǎn)操作：確保設(shè)備使用區(qū)域通風(fēng)良好，不得將設(shè)備置于爆炸危險(xiǎn)環(huán)境中，如靠近火源或易燃物旁。 

3）防止氣體泄漏：確保氫氣發(fā)生器輸出口氣管連接正確，防止氫氣泄漏。 

4）避免異常工作：在使用過(guò)程中，如發(fā)生器出現(xiàn)異常工作情況，須立即停機(jī)檢查，并由專業(yè)人員進(jìn)行問(wèn)題排查和解決。 

使用后 

1）檢查輸出口氣管：在供氫前，必須檢查氫氣發(fā)生器輸出口的氣管是否已正確連接。 

2）斷開電源前操作：在關(guān)閉并斷開電源前，應(yīng)先拔掉輸出口氣管，避免殘留氫氣造成的安全隱患。 

保養(yǎng)和檢修 

1）定期維護(hù)清潔：為延長(zhǎng)設(shè)備使用壽命并保持其高效運(yùn)行，必須定期對(duì)氫氣發(fā)生器進(jìn)行維護(hù)保養(yǎng)，包括清洗和更換吸附劑等關(guān)鍵部件。 

2）記錄維護(hù)信息：每次維護(hù)檢查后，應(yīng)詳細(xì)記錄設(shè)備狀態(tài)、檢查人員信息及維護(hù)日期，以備后續(xù)查看和故障排查。 

常見問(wèn)題解決方案 

1）避免氫氣泄漏的措施：定期檢查設(shè)備氣路的密封性，發(fā)現(xiàn)問(wèn)題及時(shí)修復(fù)，并使用符合標(biāo)準(zhǔn)要求的設(shè)備來(lái)運(yùn)輸和存儲(chǔ)氫氣。 

2）保持氫氣純度的方法：嚴(yán)格遵守使用規(guī)范，定期更換吸附劑，并使用相同類型和規(guī)格的吸附劑，以確保氫氣的純度。